深圳市英特瑞斯电子有限公司

盛美半导体成立于1998年，成立至今已有20年，并于去年在美国纳斯达克成功上市。一直以来，盛美半导体主攻单片式清洗设备，并于2009年独创了兆声波清洗(SAPS)技术，而此时海力士正被小颗粒的清洗问题所困扰，借此机遇，盛美首台12英寸45nm单片清洗设备进入海力士无锡生产线测试，由此盛美也开始与海力士展开长期合作。

中银国际证券的指出，2015-2017年公司营业收入分别有86%、24%和 18.1%来自海力士，截止到2017年，盛美总共销售了30多台清洗设备，其中，给海力士供应了20多台。除了海力士，盛美还进入了长江存储、中芯国际、上海华力、长电科技等5家客户。

从技术实力上看，盛美半导体的技术实力达到了14nm，已经开始了和迪恩士、东京电子、泛林等企业的正面竞争。值得一提的是，2016年，盛美再次独创了通电气泡震荡兆声波清洗(TEBO)技术。目前公司SAPS技术拥有22项发明，而TEBO技术申请8项PCT。

北方华创和至纯科技在清洗设备领域的布局

与盛美半导体主攻单片式清洗设备不同，北方华创通过收购美国Akrion公司实现了槽式清洗设备国产化。2017年8月，北方华创以1500万美元收购Akrion公司。据悉，Akrion是位于美国宾夕法尼亚州的一家专注于硅片清洗设备业务的公司，主要用于集成电路制造领域、硅晶圆制造领域、微机电系统和先进封装领域，该公司拥有多年的清洗技术积累和广泛的市场与客户基础，累计在线机台千余台。

北方华创自研的12英寸单片清洗机产品主要应用于集成电路芯片制程中的预清洗、再生清洗、铜互连后清洗和铝垫清洗等工艺，而收购Akrion之后，北方华创的清洗机产品线进一步得以补充。截至目前，北方华创在清洗设备领域，已经形成涵盖应用于集成电路、先进封装、功率器件、微机电系统和半导体照明等半导体领域的8-12英寸批式和单片清洗机产品。